洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级 (GB/T 25915.10-2021) 国家标准《洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:中国工程物理研究院激光聚变研究中心、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州市计量测试院、中国电子系统工程第二建设有限公司、苏州宏远净化技术有限公司、陕西中电精泰电子工程有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、烟台宝源净化有限公司、深圳市丽风净化工程有限公司、中国标准化协会、中国合格评定国家认可中心、上海市室内环境净化行业协会、上海风神环境设备工程有限公司、无锡汉佳医疗科技有限公司、上海浩泽诺瑞空气净化科技有限公司、茂盟(上海)工程技术股份有限公司。
起草人:袁晓东 、黄吉辉 、张秀春 、侯忆 、孙玉澄 、苗心向 、范国锋 、施红平 、王大千 、邴绍同 、金真 、童广才 、夏薇佳 、吕海兵 、王芳 、崔艳 、杨云涛 、陈汉青 、闫彩萍 、陈晶晶 、袁有华 、陶清宝 。
此标准定义了洁净室中有关化合物或化学物质(包括分子、离子、原子、颗粒物)存在情况的表面洁净度分级系统。
此标准适用于洁净室及相关受控环境中所有表面,如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。
注1:此标准仅考虑徽粒子的化学性质,未考虑微粒子的物理性质.此标准不包括污染物与表面之间的相互作用。
注2:此标准不涉及污染产生的过程。不涉及与时间有关的影响因素(沉降、沉积、老化等)以及与过程有关的活动(如转移、处理等),也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。