靶材与背板结合强度测试方法 (GB/T 39163-2020) 国家标准《靶材与背板结合强度测试方法》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口上报,TC243SC2(全国有色金属标准化技术委员会重金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司。
起草人:丁照崇 、陈明 、赵永善 、熊晓东 、贺昕 、林若虚 、李勇军 、张晓娜 、曹欢欢 、王云能 、袁海军 、李利利 、曹晓萌 、张静 、王传军 。
此标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
此标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
注:靶材与背板结合方式包括钎焊(传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等)、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。