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GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法

标准号
GB/T 39144-2020
下载格式
PDF
发布日期
2020-10-11
实施日期
2021-09-01
标准类别
国家标准
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简介

氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法 (GB/T 39144-2020) 国家标准《氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门市科力电子有限公司。

起草人:马农农 、何友琴 、陈潇 、刘立娜 、何烜坤 、杨素心 、闫方亮 、杨丽霞 、颜建锋 、倪青青 。

此标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。

此标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析,测定范围为不小于51014cm-3。

注:氮化镓材料中的镁含量以每立方厘米中的原子数计。

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