电子工业用四氯化硅 (GB/T 38867-2020) 国家标准《电子工业用四氯化硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资（上海）有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司。
起草人：徐德 、张国光 、黄娣 、刘畅 、杨剑 、赵雄 、楚东旭 、王春英 、戴帅 、张竞 、黄国菲 、廖恒易 、陈艳珊 、杨利 、于青玉 、方华 、曹作斌 、曲庆 、陈鹰 、李春华 、黄辉 、谭鹏程 、邓远方 、周鹏云 、徐龙 、赵帅德 、唐霞梅 。
此标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。
此标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。