基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法 (GB/T 38614-2020) 国家标准《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》由TC153(全国电子测量仪器标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为工业和信息化部(电子)。
起草单位:沈阳建筑大学、三英精控(天津)仪器设备有限公司、广东工业大学、中国计量科学研究院、苏州昊通仪器科技有限公司、沈阳理工大学。
起草人:须颖 、戴敬 、邵萌 、安冬 、施玉书 、贾静 、戴超 、文杰 、石怀涛 。
此标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台(以下简称为平台)的测量条件、测量系统和测量方法。
此标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。