氮化镓激光剥离设备 (GB/T 37466-2019) 国家标准《氮化镓激光剥离设备》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。
起草人：孙永健 、刘鹏 、丁晓民 、冯亚彬 、汪青 。
此标准规定了氮化镓激光剥离设备(以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
此标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓(GaN）基外延层进行剥离的设备，氮化铝激光剥离设备可参考此标准。