洁净机器人通用技术条件 (GB/T 37416-2019) 国家标准《洁净机器人通用技术条件》由TC591(全国机器人标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国机械工业联合会。
起草单位:沈阳新松机器人自动化股份有限公司、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国科学院沈阳自动化研究所、东北大学、大连理工大学、沈阳芯源微电子设备有限公司、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、北京锐洁机器人科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司。
起草人:徐方 、邹风山 、尹作重 、李志海 、王金涛 、唐忠华 、谭学科 、边弘晔 、张锋 、秦修功 、吴成东 、丛明 、洪旭东 、刘在行 。
此标准规定了洁净机器人的产品分类、性能、技术要求、试验方法及标志、使用说明书、包装、运输及贮存等。
此标准适用于在洁净室使用的,在大气或真空环境中执行搬运等任务的洁净机器人。