当前位置:首页 > 标准 > 国家标准 > 内容详情

GB/T 37213-2018 硅晶锭尺寸的测定 激光法

标准号
GB/T 37213-2018
下载格式
PDF
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-11-01
标准类别
国家标准
免费下载
简介

硅晶锭尺寸的测定 激光法 (GB/T 37213-2018) 国家标准《硅晶锭尺寸的测定 激光法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:苏州协鑫光伏科技有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、山东大海新能源发展有限公司。

起草人:宫龙飞 、金善明 、林清香 、夏根平 、唐珊珊 、刘坤 。

此标准规定了采用激光法非接触式测量方形硅晶锭尺寸的方法,包括对角线、倒角、垂直度、边长和长度。

此标准适用于半导体及光伏领域硅单晶棒或多晶硅铸锭切割成的方形硅晶锭尺寸的测量。

声明:资源收集自网络无法详细核验或存在错误,仅为个人学习参考使用,如侵犯您的权益,请联系我们处理。

不能下载?报告错误