纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法 (GB/T 36969-2018) 国家标准《纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。
起草单位：上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。
起草人：李慧琴 、金承钰 、梁齐 、何丹农 、韦菲菲 。
此标准规定了使用原子力显微术（AFM）测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。
此标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。