磷化铟多晶 (GB/T 36706-2018) 国家标准《磷化铟多晶》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:南京金美镓业有限公司、有色金属技术经济研究院、中国电子科技集团公司第十三研究所、广东先导稀材股份有限公司、石家庄麦特达电子科技有限公司、中国科学院半导体研究所、云南中科鑫圆晶体材料有限公司。
起草人:范家骅 、邢志国 、杨桂芳 、刘文兵 、李素青 、王阳 、李晓岚 、孙聂枫 、刘惠生 、赵有文 、惠峰 、朱刘 、刘永豪 。
此标准规定了磷化锢多晶的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。
此标准适用于生产磷化铟单晶用的磷化铟多晶。