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GB/T 36706-2018 磷化铟多晶

标准号
GB/T 36706-2018
下载格式
PDF
发布日期
2018-09-17
实施日期
2019-06-01
标准类别
国家标准
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简介

磷化铟多晶 (GB/T 36706-2018) 国家标准《磷化铟多晶》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:南京金美镓业有限公司、有色金属技术经济研究院、中国电子科技集团公司第十三研究所、广东先导稀材股份有限公司、石家庄麦特达电子科技有限公司、中国科学院半导体研究所、云南中科鑫圆晶体材料有限公司。

起草人:范家骅 、邢志国 、杨桂芳 、刘文兵 、李素青 、王阳 、李晓岚 、孙聂枫 、刘惠生 、赵有文 、惠峰 、朱刘 、刘永豪 。

此标准规定了磷化锢多晶的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。

此标准适用于生产磷化铟单晶用的磷化铟多晶。

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