MEMS电场传感器通用技术条件 (GB/T 35086-2018) 国家标准《MEMS电场传感器通用技术条件》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:中国科学院电子学研究所、中机生产力促进中心、西安西谷微电子有限责任公司。
起草人:夏善红 、彭春荣 、李海斌 、郑凤杰 、程红兵 、朱悦 、白巍 。
此标准规定了MEMS电场传感器(以下简称“传感器”)的原材料、结构组成、技术要求、试验项目和方法、检验规则、包装、存储和运输。
此标准适用于MEMS电场传感器的研制、生产和采购。其他类型的电场传感器可参照使用。