LED行业用氨气处理指南 (GB/T 35315-2017) 国家标准《LED行业用氨气处理指南》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:苏州金宏气体股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市技顶电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司。
起草人:孙猛 、金向华 、牛艳东 、傅铸红 、杜汉盛 、张晓东 、郭秀丽 、方华 、周鹏云 。
此标准规定了用水吸收法处理LED行业用氨气尾气的技术要求。
此标准适用于LED行业用氨气尾气的处理。