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GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板

标准号
GB/T 34178-2017
下载格式
PDF
发布日期
2017-09-07
实施日期
2018-08-01
标准类别
国家标准
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简介

光掩模石英玻璃基板 (GB/T 34178-2017) 国家标准《光掩模石英玻璃基板》由TC447(全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国建筑材料联合会。

起草单位:中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心。

起草人:吴洁 、王京侠 、王友军 、李弋舟 、花宁 、刘焕敏 、肖颂华 、聂兰舰 、张浩运 、杨晓会 、杨学东 、孔敏 、张应语 。

此标准规定了光掩模石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。

此标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二级管(LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。

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