光掩模石英玻璃基板 (GB/T 34178-2017) 国家标准《光掩模石英玻璃基板》由TC447（全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国建筑材料联合会。
起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心。
起草人：吴洁 、王京侠 、王友军 、李弋舟 、花宁 、刘焕敏 、肖颂华 、聂兰舰 、张浩运 、杨晓会 、杨学东 、孔敏 、张应语 。
此标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板）的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
此标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED）等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。