孔用弹性挡圈 (GB/T 893-2017) 国家标准《孔用弹性挡圈》由TC85(全国紧固件标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国机械工业联合会。
起草单位:中机生产力促进中心、安徽省宁国市东波紧固件有限公司、上海球明标准件有限公司、杭州前进齿轮箱集团股份有限公司。
起草人:无 。
此标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。
此标准适用于表面反射率不低于4%,宽深比不低于1:10,且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MEMS微结构。
孔用弹性挡圈 (GB/T 893-2017) 国家标准《孔用弹性挡圈》由TC85(全国紧固件标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国机械工业联合会。
起草单位:中机生产力促进中心、安徽省宁国市东波紧固件有限公司、上海球明标准件有限公司、杭州前进齿轮箱集团股份有限公司。
起草人:无 。
此标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。
此标准适用于表面反射率不低于4%,宽深比不低于1:10,且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MEMS微结构。
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