MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法 (GB/T 33922-2017) 国家标准《MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、北京必创科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学。
起草人:张威 、程红兵 、陈得民 、李海斌 、崔波 、石云波 、朱悦 。
此标准规定了MEMS压阻式压力敏感芯片(简称压力敏感芯片)的术语和定义、试验条件、试验的一般规定、试验内容和方法。
此标准适用于闭环和开环MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验。