纳米技术 晶圆级纳米尺度相变存储单元电学操作参数测试规范 (GB/T 33657-2017) 国家标准《纳米技术 晶圆级纳米尺度相变存储单元电学操作参数测试规范》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。
起草单位:中国科学院上海微系统与信息技术研究所。
起草人:陈一峰 、陈小刚 、宋志棠 。
此标准规定了纳米尺度相变存储单元读写擦参数的晶圆测试规范,其测试结果可用于表征相变存储材料或器件的电学可操作性能。
此标准适用于以硫系化合物为主要原料,基于半导体晶圆工艺加工制造的电极尺度小于100nm的相变存储单元,100nm~300nm的相变存储单元也可参照此标准执行。
此标准不适用于包含外围驱动电路的存储单元。