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GB/T 33657-2017 纳米技术 晶圆级纳米尺度相变存储单元电学操作参数测试规范

标准号
GB/T 33657-2017
下载格式
PDF
发布日期
2017-05-12
实施日期
2017-12-01
标准类别
国家标准
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简介

纳米技术 晶圆级纳米尺度相变存储单元电学操作参数测试规范 (GB/T 33657-2017) 国家标准《纳米技术 晶圆级纳米尺度相变存储单元电学操作参数测试规范》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。

起草单位:中国科学院上海微系统与信息技术研究所。

起草人:陈一峰 、陈小刚 、宋志棠 。

此标准规定了纳米尺度相变存储单元读写擦参数的晶圆测试规范,其测试结果可用于表征相变存储材料或器件的电学可操作性能。

此标准适用于以硫系化合物为主要原料,基于半导体晶圆工艺加工制造的电极尺度小于100nm的相变存储单元,100nm~300nm的相变存储单元也可参照此标准执行。

此标准不适用于包含外围驱动电路的存储单元。

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