高纯工业品三氯氧磷 (GB/T 33336-2016) 国家标准《高纯工业品三氯氧磷》由TC63（全国化学标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国石油和化学工业联合会。
起草单位：贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司、贵州省产品质量监督检验院、徐州市建平化工有限公司、铜山县宏达精细化工厂、锦西化工研究院有限公司。
起草人：蒋飚 、钟宏波 、祝飘 、冯永渝 、陈文强 、周大颖 、刘涛 、陈泉 、程永福 、龚宁 、程群 、邵青松 、伍昌维 、程化鹏 、张建刚 、殷浩 、马西刚 、李富荣 。
此标准规定了高纯工业品三氯氧磷的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和贮存。此标准适用于高纯工业品三氯氧磷。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片等的扩散源。