表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜 (GB/T 32996-2016) 国家标准《表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：上海市计量测试技术研究院、华东师范大学、中国科学院化学研究所。
起草人：徐建 、郝萍 、张云艳 、刘芬 、吴立敏 、陈永康 、朱丽娜 、周莹 。
此标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。本方法适用于测定金属上厚度为1nm~10000nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。