硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 (GB/T 32814-2016) 国家标准《硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：西北工业大学、中机生产力促进中心。
起草人：苑伟政 、谢建兵 、李海斌 、乔大勇 、马志波 、常洪龙 、刘伟 。
此标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。此标准适用于硅基MEMS制造技术中基于S0I硅片的MEMS器件的加工和质量检验。