电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素 (GB/T 32650-2016) 国家标准《电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、东海县产品质量监督检验所、江苏太平洋石英股份有限公司。
起草人：李运强 、薄雷明 、冯亚彬 、管琪 、许振午 、武为民 、周文梅 。
此标准规定了石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、、镁、铬、镍、硼、锰、铜、痕量元素的测定方法。此标准适用于石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、、镁、铬、镍、硼、锰、铜、痕量元素含量的测定。其他元素含量的测定可参照此标准执行。