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GB/T 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

标准号
GB/T 32652-2016
下载格式
PDF
发布日期
2016-04-25
实施日期
2016-11-01
标准类别
国家标准
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简介

多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料 (GB/T 32652-2016) 国家标准《多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所、江苏中腾石英材料科技有限公司、中材高新江苏硅材料有限公司、中国电子技术标准化研究院。

起草人:薄雷明 、程尚栩 、栾振祥 、张存君 、王祥 、许振午 、李建德 、管琪 、冯亚彬 。

此标准规定了多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。此标准适用于太阳能级多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料。

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