Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法 (GB/T 30654-2014) 国家标准《Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中国科学院半导体研究所。
起草人：孙宝娟 、赵丽霞 、王军喜 、曾一平 、李晋闽 。
此标准规定了利用高分辨X射线衍射测试族氮化物外延片晶格常数的方法。此标准适用于在氧化物衬底（A120、ZnO等）或半导体衬底（GaN、Si、GaAs、SiC等）上外延生长的氮化物（Ga，In，A1）N单层或多层异质外延片晶格常数的测量。其他异质外延片晶格常数的测量也可参考此标准。