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GB/T 31093-2014 蓝宝石晶锭应力测试方法

标准号
GB/T 31093-2014
下载格式
PDF
发布日期
2014-12-22
实施日期
2015-09-01
标准类别
国家标准
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简介

蓝宝石晶锭应力测试方法 (GB/T 31093-2014) 国家标准《蓝宝石晶锭应力测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:协鑫光电科技(江苏)有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司。

起草人:刘逸枫 、魏明德 、徐养毅 、杭寅 、肖宗杰 。

此标准规定了蓝宝石单晶晶锭的应力测试方法。 此标准适用于经过加工后直径为50.8mm~200mm的c向蓝宝石晶锭的应力测试,其他尺寸蓝宝石晶锭的应力测试可参照使用。

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