电热装置基本技术条件 第410部分:单晶炉 (GB/T 10067.410-2014) 国家标准《电热装置基本技术条件 第410部分:单晶炉》由TC121(全国工业电热设备标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国电器工业协会。
起草单位:西安电炉研究所有限公司、江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、西安理工晶科股份有限公司、中冶电炉工程技术中心、国家电炉质量监督检验中心、陕西省电炉工程技术研究中心。
起草人:陈巨才 、李留臣 、袁芳兰 、束天和 、朱琳 。
GB/T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。