LED外延芯片用砷化镓衬底 (GB/T 30856-2014) 国家标准《LED外延芯片用砷化镓衬底》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:中国科学院半导体研究所、有研光电新材料有限公司、云南中科鑫圆晶体材料有限公司。
起草人:赵有文 、提刘旺 、林泉 、于洪国 、惠峰 、赵坚强 。
此标准规定了LED外延芯片用砷化镓单晶衬底片(以下简称衬底)的要求、检验方法和规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书与订货单(或合同)内容。此标准适用于LED外延芯片用的砷化镓单晶衬底。