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GB/T 30856-2014 LED外延芯片用砷化镓衬底

标准号
GB/T 30856-2014
下载格式
PDF
发布日期
2014-07-24
实施日期
2015-04-01
标准类别
国家标准
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简介

LED外延芯片用砷化镓衬底 (GB/T 30856-2014) 国家标准《LED外延芯片用砷化镓衬底》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:中国科学院半导体研究所、有研光电新材料有限公司、云南中科鑫圆晶体材料有限公司。

起草人:赵有文 、提刘旺 、林泉 、于洪国 、惠峰 、赵坚强 。

此标准规定了LED外延芯片用砷化镓单晶衬底片(以下简称衬底)的要求、检验方法和规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书与订货单(或合同)内容。此标准适用于LED外延芯片用的砷化镓单晶衬底。

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