高纯氟化铵溶液 (GB/T 30901-2014) 国家标准《高纯氟化铵溶液》由TC63（全国化学标准化技术委员会）归口上报，TC63SC1（全国化学标准化技术委员会无机化工分会）执行，主管部门为中国石油和化学工业联合会。
起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化工有限公司、鹰鹏集团/宣城亨泰化工科技有限公司、巨化集团技术中心、中海油天津化工研究设计院等。
起草人：田志扬 、赵晓亚 、万群平 、林益兴 、张红英 、周鹏鹏等 。
此标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。 此标准适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。