电子级水中微粒的仪器测试方法 (GB/T 11446.9-2013) 国家标准《电子级水中微粒的仪器测试方法》由339-1(工业和信息化部(电子))归口上报及执行,主管部门为工业和信息化部(电子)。
起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所。
起草人:王奕 、褚连青 、何秀坤 、段曙光等 。
GB/T 11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。
本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数,测定的微粒粒径不小于0.05m,微粒的浓度范围为0~10000个/mL。