表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量 (GB/T 29557-2013) 国家标准《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所。
起草人：陈建 、张训生 、谢方艳 、龚力 、张卫红 、盛世善 。
此标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。此标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。