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GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则

标准号
GB/T 28274-2012
下载格式
PDF
发布日期
2012-05-11
实施日期
2012-12-01
标准类别
国家标准
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简介

硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则 (GB/T 28274-2012) 国家标准《硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、西北工业大学。

起草人:张大成 、王玮 、刘伟 、杨芳 、姜森林 、崔波等 。

此标准规定了微结构加工时,光刻版图设计中图形设计应遵循的基本规则。此标准适用于采用接触式单/双面光刻、氧化扩散、化学气相淀积(CVD)、物理气相淀积(PVD)、离子注入、反应离子刻蚀(RIE)、氢氧化钾(KOH)腐蚀、硅-玻璃对准静电结合、砂轮划片等基本工艺方法。

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