银靶 (GB/T 26307-2010) 国家标准《银靶》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口上报,TC243SC5(全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
起草单位:北京有研亿金新材料股份有限公司。
起草人:闫琳 、杨华 、李蕊 、杨永刚 、雷继锋 、熊晓东 、江轩 。
此标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志,包装、运输,贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。此标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。