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GB/T 25497-2010 吸气剂气体吸放性能测试方法

标准号
GB/T 25497-2010
下载格式
PDF
发布日期
2010-12-01
实施日期
2011-05-01
标准类别
国家标准
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简介

吸气剂气体吸放性能测试方法 (GB/T 25497-2010) 国家标准《吸气剂气体吸放性能测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国电子科技集团第十二研究所。

起草人:薛函迎 、张巨先 、郭卫斌 、刘筠 。

此标准规定了吸气剂放气量的测试方法、掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线的测试方法、释汞吸气剂放气回吸曲线的测试方法、定压法吸气性能测试方法、定容法吸气性能测试方法等吸气剂气体吸放性能测试方法。此标准适用于真空器件用吸气剂。

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