GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物 (GB/T 24577-2009) 国家标准《热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。

起草人：王奕 、褚连青 、李静 。

此标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。