重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法 (GB/T 24580-2009) 国家标准《重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。
起草人：马农农 、何友琴 、丁丽 。
此标准规定了重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱测试方法。此标准适用于二次离子质谱法(SIMS)对重掺n型硅衬底单晶体材料中痕量硼沾污(总量)的测试。