微束分析 扫描电子显微术 术语 (GB/T 23414-2009) 国家标准《微束分析 扫描电子显微术 术语》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所。
起草人：李香庭 、曾毅 。
此标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语，也包括已经在ISO 23833中定义的术语。此标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外，此标准的某些术语定义，也适用于相关领域的文件〔例如：电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。