钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 元素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法 (GB/T 22462-2008) 国家标准《钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 元素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：宝山钢铁股份有限公司、中国科学院物理研究所、中国科学院化学研究所、冶金工业信息标准研究院。
起草人：张毅 、陈英颖 、沈电洪 、刘芬 、何晓蕾 、邬君飞 、栾燕 。
此标准采用辉光放电原子发射光谱法用于定量测定钢表面纳米、亚微米尺度薄膜(金属镀膜和氧化膜)中膜厚、镀层质量(单位面积)和薄膜中的元素深度分布。本方法适用于测定3nm～1000nm厚度的钢表面薄膜，适用的元素包括:铁、铬、镍、铜、钛、锰、铝、碳、磷、氧、氮和硅。