GB/T 17473.3-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定

微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定 (GB/T 17473.3-2008) 国家标准《微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口上报，TC243SC5（全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会）执行，主管部门为中国有色金属工业协会。

起草单位：贵研铂业股份有限公司。

起草人：金勿毁 、刘继松 、李文琳等 。

本部分规定了微电子技术用贵金属浆料方阻的测试方法。本部分适用于微电子技术用贵金属浆料方阻的测定。