GB/T 3163-2007 真空技术 术语

真空技术 术语 (GB/T 3163-2007) 国家标准《真空技术 术语》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。

起草单位：东北大学、沈阳真空技术研究所。

起草人：王学智 、张世伟 、王晓冬等 。

此标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵及有关术语、真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空干燥和冷冻干燥术语、表面分析技术术语和真空冶金术语。此标准适用于真空技术方面的技术文件、标准、书籍和手册等有关资料的编写。