GB/T 8757-2006 砷化镓中载流子浓度等离子共振测量方法

砷化镓中载流子浓度等离子共振测量方法 (GB/T 8757-2006) 国家标准《砷化镓中载流子浓度等离子共振测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：北京有色金属研究总院。

起草人：王彤涵 。

此标准适用于掺杂化镓单晶中载流子浓度的测量。测量范围：n-GaAs 1.0*10cm～1.0*10cmp-GaAs 2.0*10cm～1.0*10cm