铝及铝合金阳极氧化 氧化膜厚度的测量方法 第3部分:分光束显微镜法 (GB/T 8014.3-2005) 国家标准《铝及铝合金阳极氧化 氧化膜厚度的测量方法 第3部分:分光束显微镜法》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口上报，TC243SC1（全国有色金属标准化技术委员会轻金属分会）执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
本部分规定了用分光束显微镜测定铝及铝合金阳极氧化膜厚度的无损测定方法。本部分适用于膜厚大于10μm的一般工业用氧化膜，或膜厚不小于5μm的表面平滑的氧化膜。本部分不适用于深色氧化膜或表面粗糙的氧化膜。