硅单晶切割片和研磨片 (GB/T 12965-2005) 国家标准《硅单晶切割片和研磨片》由610(中国有色金属工业协会)归口上报及执行,主管部门为中国有色金属工业协会。已被标准 GB/T 12965-2018(全部代替)
起草单位:北京有色金属研究总院。
此标准规定了硅单晶切割片和研磨片(简称硅片)的产品分类、术语、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。此标准适用于由直拉、悬浮区熔和中子嬗变掺杂硅单晶经切割、双面研磨制备的圆形硅片。产品主要用于制作晶体管、整流器件等半导体器件,或进一步加工成抛光片。