GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件

真空镀膜设备通用技术条件 (GB/T 11164-1999) 国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。已被标准 GB/T 11164-2011（全部代替）

起草单位：上海曙光机械制造厂。

此标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。此标准适用于压力在10～10Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备（以下简称设备）。