GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 (GB/T 16880-1997) 国家标准《光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：中国科学院微电子中心。

本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。