GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范

圆形石英玻璃光掩模基板规范 (GB/T 16523-1996) 国家标准《圆形石英玻璃光掩模基板规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：长沙韶光微电子总公司。

此标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。此标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。