GB/T 1552-1995 硅、锗单晶电阻率测定 直排四探针法

硅、锗单晶电阻率测定 直排四探针法 (GB/T 1552-1995) 国家标准《硅、锗单晶电阻率测定 直排四探针法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 1551-2009（全部代替）

起草单位：上海有色金属研究所。