GB/T 14143-1993 300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法

300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法 (GB/T 14143-1993) 国家标准《300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法》由610（中国有色金属工业协会）归口上报及执行，主管部门为中国有色金属工业协会。已被标准 GB/T 1557-2006（全部代替）

起草单位：机电部第四十六研究所。