GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片

硅-蓝宝石外延片 (GB/T 14015-1992) 国家标准《硅-蓝宝石外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：天津半导体技术研究所。

此标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。此标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。