GB/T 9506.1-1988 吸气剂性能测试方法通则

吸气剂性能测试方法通则 (GB/T 9506.1-1988) 国家标准《吸气剂性能测试方法通则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：南京工学院。

此标准规定了吸气剂性能测试中必须共同遵守的测试条件、辅助工艺规程以及对主要测试设备的要求，适用于吸气剂产品性能的测试。