GB/T 9506.6-1988 掺氮吸气剂钡膜分布测试方法

掺氮吸气剂钡膜分布测试方法 (GB/T 9506.6-1988) 国家标准《掺氮吸气剂钡膜分布测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 25495-2010（全部代替）

起草单位：电子部741厂。