吸气剂分类及型号命名方法 (GB/T 4965-1985) 国家标准《吸气剂分类及型号命名方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:南京工学院。
此标准规定了吸气剂分类及型号命名方法,也规定了释汞剂和碱金属释放器的表示方法。
吸气剂分类及型号命名方法 (GB/T 4965-1985) 国家标准《吸气剂分类及型号命名方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:南京工学院。
此标准规定了吸气剂分类及型号命名方法,也规定了释汞剂和碱金属释放器的表示方法。
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