DB44/T 1328-2014 蓝宝石图形化衬底片测试技术规范

蓝宝石图形化衬底片测试技术规范 (DB44/T 1328-2014) 主管部门为广东省质量技术监督局，行业分类所属制造业。

起草单位：东莞市中镓半导体科技有限公司，广东赛翡蓝宝石科技有限公司。

起草人：丁晓民、张能、刘南柳、戴立忠、杨鹏、康凯、张国义。

本标准规定了用于制备LED的蓝宝石图形化衬底片的测试技术规范，包括蓝宝石图形化衬底片的图形结构、表面质量、图形一致性的测试要求和测试方法。 本标准适用于制备半导体照明器件的氮化物外延生长所用蓝宝石图形化衬底片。